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超临界流体具有类似气体的扩散性及液体的溶解能力，同兼具低黏度，低表面张力的特性，使得超临界流体能够迅速渗透进入微孔隙之中。因此用于萃取/干燥时速率比液体快速而有效，尤其是溶解能力可随温度，压力和极性而变化。
传统干燥方法，液体在高温条件下直接转化成气体，这样会产生一定量的表面张力变化，将有可能破坏样品的精细结构，对于特殊的样品，比如，溶胶凝胶、生物样品、结构不稳定的多孔材料等，使用传统干燥方法预处理样品将导致样品结构被损坏。而使用临界点干燥法中，介质采用液态二氧化碳--超临界二氧化碳--气体二氧化碳这种相变方法，将分界面的表面应力降为零，则可以保存样品的精细结构。
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